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富士通和爱德万测试于2006年11月1日在富士通川崎事务所内设立从事LSI试制服务的合资公司“E-Shuttle”。使用爱德万的电子束曝光装置“F3000”试制支持300mm晶圆及65nm工艺的LSI。在试制时，将利用电子束将半导体元件的电路图直接绘制在晶圆上，这样便可缩短试制时间。
富士通此前一直使用支持130nm、90nm工艺的电子束技术试制LSI。新公司最初将从2007年4月～9月开始提供支持65nm工艺的服务，将来还计划提供支持45nm工艺的服务。
新公司设立之初的注册资金为1亿日元，计划在2007年度底之前共投资25亿日元。出资比例方面，富士通为55％，爱德万为45％。社长将由富士通研究所董事兼富士通电子元件事业本部副部长土川春穂担任。目标是到2010年年销售额达到约40亿日元。 |
