AMMS联手Tronics开发先进DRIE工艺解决方案

【来源:中国电子制造网】【编辑:admin】【时间: 2007-6-13 8:52:05】【点击:】

Alcatel Micro Machining Systems日前与MEMS器件制造商Tronics Microsystems SA联合宣布，双方将合作开发先进DRIE工艺技术，用以制造高性能MEMS器件。AMMS是法国Alcatel Vacuum Technology旗下专注于MEMS和3D半导体制造所需的高速等离子刻蚀系统开发的子公司。Tronics Microsystems是法国一家快速成长的客户订制MEMS器件制造商，在基于SOI材料的MEMS技术方面实力深厚，擅长在厚SOI片上运用先进DRIE工艺制造高性能传感器与执行器，并且开发出了独一无二的用于追踪工艺实效模式的测试工具与方法，为MEMS生产建立了精确统计工艺控制（SPC）指示器。据悉，Tronics将利用其成熟的测试方法对AMMS提供的新款DRIE制造工艺进行评估和论证，并提供SPC反馈数据，从而使AMMS能够进一步提高其工艺解决方案的性能。最为汇报，Tronics将得到获取AMMS最新工艺模块与服务的优先权。

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