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英国威克斯公司于Semicon China
展示先进CMP保持环及晶圆处理设备技术
高性能聚合物集团及VICTREX® PEEK® 品牌聚合物的生产商与供应商英国威克斯公司 (Victrex plc) 将于2005年中国国际半导体设备与材料展览暨研讨会 (Semicon China) 设立展台 (编号3268)，展示在半导体领域的多项先进技术。
VICTREX PEEK 由于具有耐受极端环境的能力，因此被誉为是目前市场上具有最高性能的可熔融加工聚合物，在要求出色均衡性能的半导体市场应用中得到了广泛的认同。
威克斯公司中国区市场开发经理于顺东表示：“VICTREX PEEK 除了在一般电子领域得到广泛应用外，在半导体市场尤其是CMP环与晶圆转运箱方面，我们的高性能聚芳醚醚酮可以对产品的成败起着决定性作用。我们的客户遍布美国与亚太区，他们选用 VICTREX PEEK全因为它的固有高纯度、高强度、耐化学性能、耐高温性能及电气性能。”
VICTREX PEEK 已在某些要求最苛刻的半导体领域操作中得到应用。新加坡一家领先的半导体设备与系统生产商将材料设计从40%玻纤填充的PPS转换成 VICTREX PEEK，为产品带来更多优点。
自2003年初开始，新加坡 AEM-Evertech 公司一直使用VICTREX PEEK聚合物制造其各种化学电镀设备所用的夹持器部件，这些电镀设备主要销往中国的半导体元件公司与IC制造商。
夹持器是电镀设备上不可或缺的部件，在客户要求的精确控制的电镀环境内，它负责承载着半导体引线框架或连接器。因此选择的材料必须光滑无孔，以避免微粒在表面沉积，缓慢积聚形成不必要的导电通路。
使用VICTREX PEEK 聚合物，AEM-Evertech公司获得优异的夹持器部件质量、更好的电镀效率以及更长的夹持器部件使用寿命，与其它夹持器部件材料相比，实现了总体成本的优势。此外，VICTREX PEEK 聚合物还能够提高设备的可靠性、降低设备维护成本，并减少客户的停工时间。
美国 H-Square公司以VICTREX PEEK用于其真空吸嘴，以保证真空输送系统内的元件不会受到任何污染。他们之所以选择VICTREX PEEK，是因为它是一种固有高纯度的材料，几乎不含微量元素。
在生产、测试和整理过程中，真空输送系统用于转移晶圆。由于这些吸嘴会直接接触晶圆，因此是真空输送系统内非常关键的部件。
此外，促使 H-Square 做出此决策的另一个关键要素是VICTREX PEEK 拥有在260°C高温下持续使用的能力。硅晶圆往往在高温环境下加工，因此输送设备必须能够耐受极端高温。
由于VICTREX PEEK 在中国持续取得成功，威克斯公司将其在2005年Semicon China 上的展台扩大了一倍。公司的技术专家将于3268号展台上向参观者介绍VICTREX PEEK 在半导体领域的应用。
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英国威克斯公司<|||>
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2005-2-24 |
