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中电科技集团48所研制成功
新一代太阳能电池专用扩散系统/等离子刻蚀机
中国电子科技集团公司第四十八研究所继上一代用于6方片单晶/多晶太阳能电池生产线的四管扩散系统、等离子刻蚀机在国内大中型厂家生产线发挥作用后，该所近日又推出了更适合太阳能电池大生产工艺的新一代四管扩散系统和等离子刻蚀机等，并相继在国内最知名的太阳能电池生产厂家大生产线上获得成功应用，目前已完全替代了进口设备，这些设备是根据国际太阳能电池发展的最新工艺要求而推出的，其应用效果如均匀性，成品率都高于上代产品，安全性更好，可靠性更高。
（摘自48所互联网站）
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2004-11-2 |
